化學氣相沉積（ CVD ）是一種熱化學反應過程，是在特定的溫度和經過特別處理的基體零件（包括硬質合金和工具鋼材質）所進行的氣態化學反應。

BernexCVD 工藝在二十世紀七十年代早期發展起來，并在涂層工藝、結構、和復合上持續不斷的改進來滿足市場的需求。  
加工溫度

一般的 CVD 加工處理溫度： Bernex 高溫涂層： 900 ℃ ~1050 ℃， Bernex MT CVD 中溫涂層： 720 ℃ ~900 ℃。

適合 CVD 涂層的典型零件

最廣泛應用到 CVD 涂層的零件包括硬質合金刀片，沖頭，金屬成型模具和擠壓模具。這些零件同樣適合于耐磨及侵蝕環境。然而，由于 CVD 工藝過程是一個高溫過程，對于大多數的鋼質零件，在 CVD 涂層后要進行再次熱處理。

典型的涂層類型  
典型的涂層類型是 TiC,TiCN （高溫和中溫， TiN 和＆— Al 2 O 3, 和 K— Al 2 O 3 ）。涂層大多數總是以多層沉積，正如 TiC/TiN 或TiCN/ Al 2 O 3 或 TiCN/ Al 2 O 3 / TiN復合涂層，滿足了特殊應用領域的需求，如鑄鐵的銑銷或加工難加工材料。

涂層厚度范圍是 5 ~12 um , 但在有些情況下 , 涂層厚度可達 20um , 工藝時間范圍為 8~24 小時  
CVD 工藝優點

涂層的極端韌度
高的裝爐數量（但工藝時間長）
反應器內零件無須旋轉
能對復雜的幾何形狀的零件和有內孔零件涂層
涂層厚度高度均勻，無論是簡單還是復雜的幾何形狀零件