化學(xué)氣相沉積( CVD )是一種熱化學(xué)反應(yīng)過程,是在特定的溫度和經(jīng)過特別處理的基體零件(包括硬質(zhì)合金和工具鋼材質(zhì))所進(jìn)行的氣態(tài)化學(xué)反應(yīng)。
BernexCVD 工藝在二十世紀(jì)七十年代早期發(fā)展起來,并在涂層工藝、結(jié)構(gòu)、和復(fù)合上持續(xù)不斷的改進(jìn)來滿足市場的需求。
加工溫度
一般的 CVD 加工處理溫度: Bernex 高溫涂層: 900 ℃ ~1050 ℃, Bernex MT CVD 中溫涂層: 720 ℃ ~900 ℃。
適合 CVD 涂層的典型零件
最廣泛應(yīng)用到 CVD 涂層的零件包括硬質(zhì)合金刀片,沖頭,金屬成型模具和擠壓模具。這些零件同樣適合于耐磨及侵蝕環(huán)境。然而,由于 CVD 工藝過程是一個(gè)高溫過程,對于大多數(shù)的鋼質(zhì)零件,在 CVD 涂層后要進(jìn)行再次熱處理。
典型的涂層類型
典型的涂層類型是 TiC,TiCN (高溫和中溫, TiN 和&— Al 2 O 3, 和 K— Al 2 O 3 )。涂層大多數(shù)總是以多層沉積,正如 TiC/TiN 或TiCN/ Al 2 O 3 或 TiCN/ Al 2 O 3 / TiN復(fù)合涂層,滿足了特殊應(yīng)用領(lǐng)域的需求,如鑄鐵的銑銷或加工難加工材料。
涂層厚度范圍是 5 ~12 um , 但在有些情況下 , 涂層厚度可達(dá) 20um , 工藝時(shí)間范圍為 8~24 小時(shí)
CVD 工藝優(yōu)點(diǎn)
涂層的極端韌度
高的裝爐數(shù)量(但工藝時(shí)間長)
反應(yīng)器內(nèi)零件無須旋轉(zhuǎn)
能對復(fù)雜的幾何形狀的零件和有內(nèi)孔零件涂層
涂層厚度高度均勻,無論是簡單還是復(fù)雜的幾何形狀零件
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